主な用途:設備は主にウェット法のエッチング洗浄などの工程工程に必要なエッチング液を集中的に配送して、パイプを経由して設備に行きます。自働化の程度が高くて、配合の正確さ、操作の簡便さなどの特徴があります;耐食性に優れています。

1.給液システム(Chemical Dispense System System)略称:CDSです。

2. CDSは化学室内に設置します:酸とアルカリ溶液CDSシステムは防腐性の化学室を置くことを要求します;

3.設備の材質の説明(酸とアルカリの種類):酸とアルカリ溶液のCDSはWPPの10Tの板材を外構用して、内部の配管とコンポーネントはPFA材質を用ます;ボディ材質パターン:腐食性化学品の材質はPFAまたはPTFEです。

4.システムは化学原液の双桶/単桶20L、200L、1tなどの方式でPump方式で制程の使用点まで運送します;

5.フィルタ:10」PFA材質のフィルタハウジングが付属します。

6.給液ポンプ:各化学液体は2台または1台のPTFE材質の輸入隔膜ポンプを備えます;

7. Empty Sensor & Level Sensor:酸とアルカリ類は一般型の静電容近接スイッチを採用します;

8.すべての化学品キャビネット、マニホールドボックスおよびバルブボックスは漏洩検知器と警報機能を提供します。