主要用途：设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送，经管道至设备；具有自动化程度高，配比精确，操作简便等特点；具有良好的耐腐蚀性能。

　　1. 供液系统（Chemical Dispense System System）简称：CDS

　　2. CDS 将设置于化学房内：酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房；

　　3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材，内部管路及组件采PFA 材质；阀体材质型式：供腐蚀性化学品用之材质为PFA或PTFE。

　　4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点；

　　5. 过滤器：配有10” PFA材质过滤器外壳；

　　6. 供液泵：每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵；

　　7. Empty Sensor & Level Sensor：酸碱类采用一般型静电容近接开关；

　　8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。